GB/T 14620-2013 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片

薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 (GB/T 14620-2013) 国家标准《薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。

起草单位：中国电子技术标准化研究院。

起草人：曹易 、李晓英 。

此标准规定了薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 此标准适用于薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片(以下简称“基片”）的生产和采购,采用薄膜工艺的片式元件用氧化铝陶瓷基片也可参照使用。