GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法

电子材料晶片参考面长度测量方法 (GB/T 13387-1992) 国家标准《电子材料晶片参考面长度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 13387-2009（全部代替）

起草单位：北京有色金属研究总院。