GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法

硅片径向电阻率变化的测量方法 (GB/T 11073-1989) 国家标准《硅片径向电阻率变化的测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。已被标准 GB/T 11073-2007（全部代替）

起草单位：峨嵋半导体材料研究所。