GB/T 17473.3─2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定

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简介

微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定 (GB/T 17473.3-2008) 国家标准《微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。

起草单位:贵研铂业股份有限公司。

起草人:金勿毁 、刘继松 、李文琳等 。

本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。

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