T/ZZB 3749-2024 多级罗茨干式真空泵

多级罗茨干式真空泵 (T/ZZB 3749-2024) 团体名称为浙江省质量协会

主要起草人：陆学贵、李松波、卢冬雪、吴晓云、马明全、黄占超、宋涛、陈庆敏、侯大立、武涛。

起草单位：浙江博亚精密机械有限公司、安泊智汇半导体设备（上海）有限公司、无锡松煜科技有限公司、上海应用技术大学、上海工程技术大学。

内容简要 本文件规定了多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于工作环境温度为5℃～35℃，除单级、…