T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统

半导体车间金属粉尘智能检测分析系统 (T/QGCML 3970-2024) 团体名称为全国城市工业品贸易中心联合会

主要起草人：张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋。

起草单位：凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有限公司。

内容简要 本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。…