电子级氨水 (T/CSTM 01148-2024) 团体名称为中关村材料试验技术联盟
主要起草人:姜希松、郭丽、顾海燕、鄢艳华、顾玲燕、钟九生、李祥庆、刘奕丰、谢汪洋、闫广学、郑存强、张双磊、李文斌、张啸虎、吕景琴、杨亮亮、李清霞、肖国营、胡法祥、潘美华、刘宇、付登、张长安。
起草单位:深圳新宙邦科技股份有限公司、浙江建业微电子材料有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、福建天甫电子材料有限公司、江化微(镇江)电子材料有限公司、晶瑞(湖北)微电子材料有限公司、新迈奇材料股份有限公司、唐山三友电子化学品有限责任公司、联仕新材料(苏州)股份有限公司、浙江森田新材料有限公司、中国化工情报信息协会、北京中企标服国际信息技术研究院。
范围:本文件规定了电子级氨水的分级与命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件、安全信息。本文件适用于以工业级液氨和超纯水为原料,经纯化制得的电子级氨水。主要用作集成电路(半导体)、印刷电路板等制程用化学品。CAS号:1336-21-6分子式:NH3·H2O相对分子质量:35.05(按2022年国际相对原子质量)
内容简要 本文件规定了电子级氨水的分级与命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件、安全信息。本文件适用于以工业级液氨和超纯水为原料,经纯化制得的电子级氨水。主…