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T/NXCL 30-2024 300 mm低氧含量直拉硅单晶

标准号
T/NXCL 30-2024
下载格式
PDF
发布日期
2024-02-06
实施日期
2024-02-06
标准类别
团体标准
免费下载
简介

300 mm低氧含量直拉硅单晶 (T/NXCL 30-2024) 团体名称为宁夏材料研究学会

主要起草人:芮阳、商润龙、王黎光、杨少林、陈亚、赵泽慧、白圆、马成、曹启刚、王忠保、熊欢、李聪、王云峰、李长苏、顾燕滨、盛之林、黄柳青、盛旺

起草单位:宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、北方民族大学、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、厦门大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司

内容简要 本文件规定了300mm低氧含量直拉硅单晶的技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和质量承诺等方面的内容。本文件适用于以电子级多晶硅为…

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