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T/NXCL 015-2022 硅部件用柱状多晶硅

标准号
T/NXCL 015-2022
下载格式
PDF
发布日期
2022-12-02
实施日期
2022-12-02
标准类别
团体标准
免费下载
简介

硅部件用柱状多晶硅 (T/NXCL 015-2022) 团体名称为宁夏材料研究学会

主要起草人:李长苏、顾燕滨、盛旺、丁亚国、武文元、李玲玲、熊欢、吴彦飞、杨文平、刘建斌、杨少林、范占军、马江、杜朋轩、姜永庆、谢君彦

起草单位:宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司、北方民族大学、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏职业技术学院

内容简要 本文件规定了硅部件用柱状多晶硅的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、原料、化学成分、物理性能、晶粒形态和夹…

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