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T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求

标准号
T/GVS 010-2022
下载格式
PDF
发布日期
2022-09-23
实施日期
2022-09-23
标准类别
团体标准
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简介

真空卷绕镀膜设备通用技术要求 (T/GVS 010-2022) 团体名称为广东省真空学会

主要起草人:朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高。

起草单位:广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司。

范围:本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积(CVD)卷绕镀膜设备。

内容简要 规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉…

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