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T/CSTM 00003-2019 二维材料厚度测量 原子力显微镜法

标准号
T/CSTM 00003-2019
下载格式
PDF
发布日期
2019-01-03
实施日期
2019-02-01
标准类别
团体标准
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简介

二维材料厚度测量 原子力显微镜法 (T/CSTM 00003-2019) 团体名称为中关村材料试验技术联盟

主要起草人:卜天佳、任玲玲、姚雅萱、张梅、魏晓晓、尹宗杰、黎佩珊、仇登利、魏岳腾、董国材、张小敏、何丹农、张迎、陶兴付、李慧琴、吴琼、张晶晶。

起草单位:中国计量科学研究院、北京市理化分析测试中心、广州特种承压设备检测研究院、布鲁克(北京)科技有限公司、江南石墨烯研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心、上海交通大学分析测试中心、中国计量大学。

内容简要 本标准规定了二维材料厚度测量原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测…

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