晶片精密研磨盘 (T/WLJC 57-2019) 团体名称为温岭市机床装备行业协会
主要起草人:李正良、张雷、麻江峰、丁昆
起草单位:台州市永安机械有限公司、温岭市机床装备行业协会
范围:本标准规定了晶片精密研磨盘的规格型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于研磨晶片的精密研磨盘。
内容简要 标准名称中的“晶片”包括:——半导体材料晶片,如:硅单晶Si,锗单晶Ge等;——复合半导体材料晶片,如:GaAs,GaN,InP等;——光电材料晶片,如:LiNbO3,BBO等…