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T/SBX 021-2019 激光芯片自动划片裂片操作规程

标准号
T/SBX 021-2019
下载格式
PDF
发布日期
2019-11-25
实施日期
2019-12-15
标准类别
团体标准
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简介

激光芯片自动划片裂片操作规程 (T/SBX 021-2019) 团体名称为石家庄市标准化协会

主要起草人:杜海洋、苗惠霞、申卫、张智峰、杨勇峰、王昆、王明先

起草单位:河北圣源光电股份有限公司、河北圣昊光电科技有限公司、深圳市盛世智能装备有限公司、华能左权煤电有限责任公司。

内容简要 本规范规定了芯片划片工艺的人员、设备、材料、环境等条件的要求及工艺操作规程。本规范适用于划裂工艺。

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