钛白粉用集成电路制造行业废硫酸 (T/SICA 001-2020) 团体名称为上海市集成电路行业协会
主要起草人:徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆
起草单位:上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电(中国)有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司
内容简要 本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时,采用集成电路制造行业废硫酸的要求,主要技术指标为,硫酸(H2SO4)≥60W/%;过氧化氢(H2O2)≤0.5W/%;铁(Fe)≤0.0…