无纺布/聚氨酯复合抛光垫 (T/SHXCL 0004-2021) 团体名称为上海市新材料协会
主要起草人：张泽芳等
起草单位：上海映智研磨材料有限公司等
内容简要 本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫（以下简称抛光垫）的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底…
T/SHXCL 0004-2021 无纺布/聚氨酯复合抛光垫
标准号
T/SHXCL 0004-2021
下载格式
PDF
发布日期
2021-04-12
实施日期
2021-05-30
标准类别
团体标准