汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范 (T/NLIA 002-2021) 团体名称为武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟
主要起草人:李辉,张云帆,刘胜,申胜男,曹万,孙彬,吴巍,李新宇,文龙,姜静,许瑨,冷斌,吴丹,邓明星等。
起草单位:武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司,上达电子(深圳)有限公司,武汉华工激光工程有限责任公司,华中科技大学,中国地质大学(武汉),武汉华工赛百数据系统有限公司,深圳优艾智合机器人科技有限公司,深圳市诚亿自动化科技有限公司,深圳技术大学,武汉科技大学。
内容简要 本文件规定了汽车MEMS压力传感器灌封工艺的仿真信息,包含了汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真的基本流程:仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。本文件用于指导汽车M…