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T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

标准号
T/ZZB 2283-2021
下载格式
PDF
发布日期
2021-08-26
实施日期
2021-09-26
标准类别
团体标准
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简介

半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉 (T/ZZB 2283-2021) 团体名称为浙江省质量协会

主要起草人:本文件主要起草人:杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙。

起草单位:本文件由浙江省标准化研究院牵头组织制定。本文件主要起草单位:中钢新型材料股份有限公司。本文件参与起草单位:冶金工业信息标准研究院。

内容简要 本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5N(99…

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