激光衍射法反射光栅校准规范 (JJF 1967-2022) 归口单位是全国新材料与纳米计量技术委员会，发布部门为国家市场监督管理总局。
本规范适用于平均间距为(140～2 000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准。
JJF 1967-2022 激光衍射法反射光栅校准规范
标准号
JJF 1967-2022
下载格式
PDF
发布日期
2022-04-29
实施日期
2022-10-29
标准类别
计量标准
激光衍射法反射光栅校准规范 (JJF 1967-2022) 归口单位是全国新材料与纳米计量技术委员会，发布部门为国家市场监督管理总局。
本规范适用于平均间距为(140～2 000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准。
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