JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

椭偏仪校准规范 (JJF 1932-2021) 归口单位是全国光学计量技术委员会，发布部门为国家市场监督管理总局。

本规范适用于波长范围在250 nm~2 000 nm内的椭偏仪的校准。