JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范

扫描探针显微镜校准规范 (JJF 1351-2012) 归口单位是全国几何量长度计量技术委员会，发布部门为国家质量监督检验检疫总局。

本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。