扫描探针显微镜漂移速率测量方法 (GB/T 29190-2012) 国家标准《扫描探针显微镜漂移速率测量方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。
起草单位:中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院。
起草人:黄文浩 、陈宇航 、李源 、傅云霞 、褚家如 、李家文等 。
此标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。此标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。此标准中的漂移测量不适用于图像校正。