通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法 (SJ/T 10627-1995) 主管部门为电子工业部。
SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
标准号
SJ/T 10627-1995
下载格式
PDF
发布日期
1995-04-22
实施日期
1995-10-01
标准类别
行业标准
相关信息
通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法 (SJ/T 10627-1995) 主管部门为电子工业部。
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