低压化学气相淀积设备通用技术条件 (SJ/T 10311-1992) 主管部门为电子工业部。
SJ/T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件
标准号
SJ/T 10311-1992
下载格式
PDF
发布日期
1992-06-15
实施日期
1992-12-01
标准类别
行业标准
低压化学气相淀积设备通用技术条件 (SJ/T 10311-1992) 主管部门为电子工业部。
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