晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备 (SJ/T 11829.1-2022) 主管部门为工业和信息化部。
SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备
标准号
SJ/T 11829.1-2022
下载格式
PDF
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
标准类别
行业标准
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备 (SJ/T 11829.1-2022) 主管部门为工业和信息化部。
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