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SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉通用技术条件

标准号

SJ 1794-1981

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发布日期

1981-10-01

实施日期

1981-10-01

标准类别

行业标准

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简介

半导体器件生产用扩散炉通用技术条件 (SJ 1794-1981)

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