晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第1部分:管式 PECVD 设备 (SJ/T 11829.1-2022)
此标准规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第1部分:管式 PECVD 设备 (SJ/T 11829.1-2022)
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