正压悬浮区熔单晶硅炉 (SJ/T 11853-2022)
此标准规定了正压悬浮区熔单晶硅炉的产品标记和主要参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、储存。适用于以高纯多晶硅做原料，采用悬浮区熔法进行半导体级单晶硅生长的单晶硅炉。
SJ/T 11853-2022 正压悬浮区熔单晶硅炉
标准号
SJ/T 11853-2022
下载格式
PDF
发布日期
2022-09-30
实施日期
2023-01-01
标准类别
行业标准
正压悬浮区熔单晶硅炉 (SJ/T 11853-2022)
此标准规定了正压悬浮区熔单晶硅炉的产品标记和主要参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、储存。适用于以高纯多晶硅做原料，采用悬浮区熔法进行半导体级单晶硅生长的单晶硅炉。
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