SJ 2799-1987 电子级气体中痕量水分子的测定方法 目视露点法

电子级气体中痕量水分子的测定方法 目视露点法 (SJ 2799-1987)

本方法适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定，测定范围0～90℃。