氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法 (YS/T 987-2021) 主管部门为工业和信息化部,行业分类所属制造业。
本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,统称甲基氯硅烷)含量的测定,测定范围(质量分数)为0.000 010%~0.10%。
氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法 (YS/T 987-2021) 主管部门为工业和信息化部,行业分类所属制造业。
本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,统称甲基氯硅烷)含量的测定,测定范围(质量分数)为0.000 010%~0.10%。
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