钯蒸发料 (YS/T 1508-2021) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。
本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。
YS/T 1508-2021 钯蒸发料
标准号
YS/T 1508-2021
下载格式
PDF
发布日期
2021-12-02
实施日期
2022-04-01
标准类别
行业标准
钯蒸发料 (YS/T 1508-2021) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。
本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。
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