碳化硅单晶抛光片规范 (SJ/T 11502-2015) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
起草人：丁丽、郑红军、蔺娴 等
SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
标准号
SJ/T 11502-2015
下载格式
PDF
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
标准类别
行业标准
碳化硅单晶抛光片规范 (SJ/T 11502-2015) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
起草人：丁丽、郑红军、蔺娴 等
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