光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法 (SJ/T 31080-2016) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所
起草人：张倩、石少青、辛士卓 等
SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
标准号
SJ/T 31080-2016
下载格式
PDF
发布日期
2016-01-15
实施日期
2016-06-01
标准类别
行业标准