以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量 (SJ/T 11552-2015) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人：李静、何秀坤、刘兵 等
SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
标准号
SJ/T 11552-2015
下载格式
PDF
发布日期
2015-10-10
实施日期
2016-04-01
标准类别
行业标准