YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

制备钌靶用钌粉 (YS/T 1068-2015) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。

起草单位：贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院

起草人：谭志龙、郭俊梅、熊晓东等

本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉（以下简称钌粉）。