YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 (YS/T 14-2015) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。

起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人：马林宝、杨帆、葛华等

本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。