溅射用钽靶材 (YS/T 1024-2015) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。
起草单位：宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司等
起草人：钟景明、李桂鹏、汪凯等
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材（以下简称钽靶材）
YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材
标准号
YS/T 1024-2015
下载格式
PDF
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
标准类别
行业标准