重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法 (SJ/T 11498-2015) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人：何友琴、马农农、何秀坤 等
SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
标准号
SJ/T 11498-2015
下载格式
PDF
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
标准类别
行业标准
重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法 (SJ/T 11498-2015) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人：何友琴、马农农、何秀坤 等
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