硅抛光回收片 (YS/T 985-2014) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司、有研半导体材料股份有限公司等
起草人：何良恩、刘丹 等
YS/T 985-2014 硅抛光回收片
标准号
YS/T 985-2014
下载格式
PDF
发布日期
2014-10-14
实施日期
2015-04-01
标准类别
行业标准
相关信息
硅抛光回收片 (YS/T 985-2014) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司、有研半导体材料股份有限公司等
起草人：何良恩、刘丹 等
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