高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量 (YS/T 34.1-2011) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：峨嵋半导体材料厂、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司
起草人：程高明、邹同贵 等
YS/T 34.1-2011 高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量
标准号
YS/T 34.1-2011
下载格式
PDF
发布日期
2011-12-20
实施日期
2012-07-01
标准类别
行业标准