真空技术 溅射离子泵 (JB/T 4081-2011) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
起草人：朱国精、邹蒙 等
JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
标准号
JB/T 4081-2011
下载格式
PDF
发布日期
2011-12-20
实施日期
2012-04-01
标准类别
行业标准
真空技术 溅射离子泵 (JB/T 4081-2011) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
起草人：朱国精、邹蒙 等
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