集成电路主要工艺设备术语 (SJ/T 10152-1991) 主管部门为电子工业部。
SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语
标准号
SJ/T 10152-1991
下载格式
PDF
发布日期
1991-04-02
实施日期
1991-07-01
标准类别
行业标准
集成电路主要工艺设备术语 (SJ/T 10152-1991) 主管部门为电子工业部。
声明：资源收集自网络无法详细核验或存在错误，仅为个人学习参考使用，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
不能下载？报告错误