TDL-GX硅芯生长炉 (JB/T 12067-2014) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等
起草人：陈巨才、朱琳 等
JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉
标准号
JB/T 12067-2014
下载格式
PDF
发布日期
2014-07-14
实施日期
2014-11-01
标准类别
行业标准
TDL-GX硅芯生长炉 (JB/T 12067-2014) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等
起草人：陈巨才、朱琳 等
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