硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法 (YS/T 839-2012) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司
起草人：高英、武斌 等
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
标准号
YS/T 839-2012
下载格式
PDF
发布日期
2012-11-07
实施日期
2013-03-01
标准类别
行业标准
硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法 (YS/T 839-2012) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司
起草人：高英、武斌 等
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