碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能 (GB/T 44538-2024) 国家标准《碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》由TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口上报,TC57SC10(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会)执行,主管部门为中国机械工业联合会。
起草单位:中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司。
起草人:段海涛 、贾丹 、曹一莹 、张心凤 、沈学忠 、高明 、詹胜鹏 、凃杰松 、王彦峰 、王流火 、杨田 、陈辉 、骆小双 、尤锦鸿 、易娟 、苏东艺 。
该标准描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。 该标准适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。 该标准不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜,或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。