纳米几何量标准样板测试方法 (GB/T 43915-2024) 国家标准《纳米几何量标准样板测试方法》由TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海市计量测试技术研究院、同济大学、天津大学、中国计量科学研究院、广西壮族自治区计量检测研究院、中国测试技术研究院、苏州天准科技股份有限公司。
起草人：吴爱华 、付兴昌 、李锁印 、许晓青 、邹学锋 、韩志国 、赵琳 、张晓东 、冯亚南 、梁法国 、许刚 、何宜鲜 、朱振宇 、李强 、万宇 、雷李华 、傅云霞 、曾艳华 、管钰晴 、邓晓 、刘庆纲 、张恒 、施玉书 、苏翼雄 、冉庆 、曹葵康 。
该标准规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。该标准适用于线间隔为50 nm~100 nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20 nm~100 nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10 nm~100 nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2 nm~100 nm的纳米膜厚标准样板的测试。