电子级正硅酸乙酯 (GB/T 43965-2024) 国家标准《电子级正硅酸乙酯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。
起草单位：金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司。
起草人：孙猛 、金向华 、赵俊莎 、肖俊平 、李楷东 、吴怡然 、曹可慰 、赵斌 、陶刚义 、孙明璐 、陈德义 、冯琼华 、向冲 、王成 、黄天次 、万烨 、张园园 、郭树虎 、戈士勇 、戈烨铭 、何珂 、李冲合 、甘俊 、陈道伟 、张明英 。
该标准规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。该标准适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。