集成电路TSV三维封装可靠性试验方法指南 (GB/Z 43510-2023) 国家标准《集成电路TSV三维封装可靠性试验方法指南》由TC599(全国集成电路标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。
起草单位:中国电子技术标准化研究院、电子科技大学、华进半导体封装先导技术研发中心有限公司、中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所、工业和信息化部电子第五研究所、中国科学院微电子研究所、中国科学院半导体研究所。
起草人:李锟 、彭博 、肖克来提 、吴道伟 、周斌 、高见头 、李文昌 。
此标准提供了硅通孔(TSV)三维封装的工艺开发验证用可靠性试验方法指南。
此标准适用于采用先通孔、中通孔以及后通孔三种工艺流程制造的TSV三维封装的工艺验证试验。