流化床法颗粒硅 (GB/T 35307-2023) 国家标准《流化床法颗粒硅》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:江苏中能硅业科技发展有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、乐山协鑫新能源科技有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司。
起草人:朱共山 、兰天石 、蒋立民 、贺东江 、王彬 、李素青 、徐梦 、徐岩 、李朋飞 、刘辉 、付绪光 、秦榕 、刘晓霞 、宗冰 、王永亮 、谢岩 、田洪先 、刘文明 。
此标准规定了流化床法颗粒硅的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。
此标准适用于以氯硅烷、硅烷气为原料,采用流化床法生产的颗粒状多晶硅(以下简称颗粒硅)。