电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置 (GB/T 10067.417-2023) 国家标准《电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置》由TC121（全国工业电热设备标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国电器工业协会。
起草单位：江苏星特亮科技有限公司、西安电炉研究所有限公司、安徽瑞驰新能源有限公司、河南天利热工装备股份有限公司、厦门晓讯新能源科技有限公司、成都粤海金半导体材料有限公司、常州市乐萌压力容器有限公司、河北同光半导体股份有限公司、张家港市中亚特种变压器制造有限公司、西安慧金科技有限公司、株洲瑞德尔智能装备有限公司、中山市合硕高品电器有限公司、广东飞成新材料有限公司、西安福莱特热处理有限公司。
起草人：李留臣 、余维江 、李琨 、曹姣 、谢萍 、张永武 、李明科 、赵然 、潘燕萍 、杨昆 、周正星 、李小杰 、陈佩娴 、金星宇 、尹丹 、段春芳 、杨祯 。
此标准规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。
此标准适用于在真空或保护气氛下，采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。
此标准适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置，其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。