磷化铟单晶 (GB/T 20230-2022) 国家标准《磷化铟单晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所、云南鑫耀半导体材料有限公司、广东先导微电子科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。
起草人:孙聂枫 、李晓岚 、王阳 、刘惠生 、惠峰 、李素青 、朱刘 、王书杰 、邵会民 、周铁军 、史艳磊 、付莉杰 、王博 、张晓丹 、姜剑 、王宇 。
此标准规定了磷化铟单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。
此标准适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。